高精密雷射尺寸量測防震平台
XYZ30-3HH(搭配花崗岩平台及防震桌腳)
用途：搭載雷射顯微鏡量測系統，進行模仁或其他微細結構量測用結構要求!
規格：
1. 量測平台基板採精密花崗石平台，需符合德國國際標準DIN 0級，具備不易變形、熱膨脹係數小之特性，確保平台長時間量測時的精度及穩定 性。
2. 避震系統：除需抑制平台自身移動之共振，降低共振頻率<2.0Hz，並有效隔絕系統週邊及其它外在因素產生的震動源，確保雷射顯微鏡高倍率(1000x以上)量測時安定性。
3. 平台自動平衡設計，確保量測水平度。
4. X-Y axis行程 700*700mm，Z axis行程 100mm。
5. X&Y&Z-axis最小移動距離≦1μm。
6. 移動速度具備3段速度變化。三軸可多向性精密控制，操作者在高光學倍率下可做精密微調測定。
7. 荷重≧100Kg。
(此為尺寸客製機台,若有需求,請客戶來電洽詢,謝謝!)
